SWIM-1510MS干涉仪

品牌:万濠型号:SWIM-1510MS 测量范围:400um

商品描述：

扫描白光干涉显微仪

产品特点及用途

结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜，结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序，兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点，可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量，*种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含：

● 晶体（Wafer） ● 光盘/硬蝶（DVD Disk/Hard Disk） ● 平面电组件（MEMS Components） ● 平面液晶显示器（LCD） ● 高密度线路印刷电路板（HDI PCB） ● IC封装（IC Package）以上其它材料分析与组件微表面研究

*级的3D图形处理与分析软件（Post Topo）

● 提供多功能又具亲和接口的3D图形处理与分析 ● 提供自动表面平整化处理功能 ● 提供高阶标准片的软件自校功能 ● 深度/高度分析功能提供线型分析与区域分析等两种方式 ● 线型分析方式提供直接追溯ISO定义的表面粗糙度（Rorghness）与起伏度
（waviness）的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据 ● 区域分析方式提供图形分析与统计分析。
具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换（FFT）处理功能。● 量测分析结果以BMP等多种图形档案格式输出或是Excel文本文件格式输出

*精密的干涉解析软件（ImgScan）

● 系统硬件搭配ImgScan前处理软件自动解析白光干涉条纹 ● 垂直高度可达0.1nm ● 高度的分析算法则，让你不在苦候测量结果 ● 垂直扫描范围的设定轻松又容易 ● 有10X、20X、50X倍率的物镜可供选择 ● 平台XYZ位置数显示，使检标的寻找快速又便利 ● 具有手动/自动光强度调整功能以取得*佳的干涉条纹对比 ● 具有*的PVSI与*VSI扫描测量模式供选择 ● 具有*的解析算法则可处理半透明物体的3D形貌 ● 具有自动布补点功能● 可自行设定扫描方向

检测范例

技术规格参数

型号	SWIM 1510MS
系统配备	显微镜、扫描控制器、移动平台、取得单元、个人计算机
显微镜	单眼显微镜（标准配件）
干涉物镜（选配）	放大率视野（mm）光学分辨率（nm）
	10X 0.5 1.12 20X 0.25 0.84 50X 0.1 0.61
影像缩放	1.0X（标配） 0.5X（选配）

垂直扫描控制器	扫描范围扫描分辨率扫描模式光强度调整扫描速度	100 μm 400 μm(选配) 0.1nm 自动自动/手动 12nm/s（*快）
样品移动平台	X、Y平面多动平台 Z轴移动平台位置数字显示单元偏移调整平台	150mm*100mm,手动（标准配件） 80mm, 手动(标准配件) 三轴光学尺与三轴数字显示器（分辨率1 μm）手动
取得单元	影像传感器感测器解析度	面型CCD（标准配件） 640*480图像(标准配件)

电脑配件	Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上硬盘
分析软体	MS-Windows相容的资料撷取与分析软体包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多，多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等
阶*片(选配)	50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm