日本三丰378系列半导*测用显微镜FS70Z

FS70Z
378 系列 — 半导*测用显微镜

特点
? 此光学系统*初是为*的 FS60 型 (后升
级为 FS70 型) 而开发的。它作为测量检测
半导体器件的显微镜是很理想的。
? FS70L 支持3 种YAG 激光波长(1064nm,
532nm, 355nm)， FS70L4 支持 2 种波长(532nm,
266nm)，可在半导体和液晶基板中使用激
光切割和薄膜技术。这就扩大了激光的
使用范围。然而，使用三丰量具对显微
镜的激光系统的性能和*性，三丰公
司不负责任。我们推荐在选购激光发射
器时应仔细检查。
? FS70Z 的标准功能有：亮视场，微分干涉
对比 (DIC) 和偏振观测。FS70L 和FS70L4 不
支持 DIC。
? 使用内置式转换器使得长工作距离物镜
的操作很简单。
? *易操作的设计：FS70 采用正像光学系统
(视场中的像与样品方向相同) 并用橡胶把
手*微调手轮。

技术参数
对焦
? 方法: 有同心粗调和微调手轮(左和右)
? 范围: 50mm 测量范围
微调0.1mm/rev 同心粗调3.8mm/rev
三目镜筒图像: 正像
瞳距: Sieden*f 型
调节范围: 51 - 76mm
视场数: 24
俯角: 0º - 20º (*用于 -TH, -THS 型号)
照明系统: 亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑)
光源: 12V100W 光纤、无*亮度调节),
光导长度1.5m、功耗 150W
物镜 (选件): M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo

短基座型号FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS
货号378--4 378--4 378--4 378--4
对焦50mm 行程，同心焦距粗调(3.8mm/rev) 和微调(0.1mm/rev) 手轮(左、右)
图像正像
瞳距Sieden*f 型、调节范围：51 - 76mm
视场数24
俯角— 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20° — 0° 至 20°
透过率50/50 100/0 或
0/100
50/50 100/0 或
0/100
100/0 或 0/100 100/0 或 0/100
保持性滤光片— — 内置激光射线滤光片内置激光射线滤光片
管镜头1X 1X - 2X zoom 1X 1X
适用激光— — 1064/532/355nm 532/355nm
相机端口C-mount (使用适配器B 选件) 使用带有电视端口的
激光器
C-mount 插座
(带有绿色滤光片转换开关)
照明系统、选件亮视场反射照明(科勒照明、带孔径光阑)
12V 100W 光纤、无*亮度调节、光导长度：1.5m、功耗 150W
物镜、选件
(用于观察)
M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo
物镜、选件
(用于激光切割)
— M/LCD Plan NIR,
M/LCD Plan NUV
M Plan UV
载重* 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg
重量 (主机) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg
* 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量