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商品描述:扫描白光干涉显微仪 产品特点及用途 结合光学显微镜与白光干涉仪功能的扫描式白光干涉显微镜,结合显微物镜与干涉仪、不需要复杂光调整程序,兼顾体积小、纳米分辨率、易学易用等优点,可提供垂直扫描高度达400um的微三维测量,*种材料与微组件表面特征和微尺寸检测。应用领域包含: *级的3D图形处理与分析软件(Post Topo)
(waviness)的测量分析。可提供多达17种的ISO量测参数与4种额外量测数据
具有平滑化、锐化与数字过滤波等多种二维快速利叶转换(FFT)处理功能。*精密的干涉解析软件(ImgScan) 检测范例 技术规格参数
20X 0.25 0.84
50X 0.1 0.61
偏移调整平台
80mm, 手动(标准配件)
感测器解析度
640*480图像(标准配件)电脑配件 Pentium-Computer,17" LCD Monitor ,120G以上硬盘
分
析 软 体 MS-Windows相容的资料撷取与分析软体包含ISO粗糙度/阶高分析,快速付利叶转换和滤多,多样的2D和3D观测视角图,外形分析,图像缩放,标准影像档案格式转换等等 阶*片(选配) 50nm 170nm 230nm 470nm 1800nm