气体流量传感器FS5001系列产品

品牌:美国矽翔 型号:FS5001系列 种类:气体 材料:混合物 材料物理性质:导体 材料晶体结构:单晶 制作工艺:集成 输出信号:数字模拟 *护等级:见参数 线性度:见参数（%F.S.） 迟滞:见参数（%F.S.） 重复性:见参数（%F.S.） 灵敏度:见参数 漂移:见参数 分辨率:见参数

产品简介：

FS5001小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。*的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。

产品特点：

• 传感器灵敏度高，有*小的始动流量
• 传感器芯片采用热质量流量计量，无需温度压力补偿，*了传感器的*计量
• 在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比*了100:1甚至更高
• 贴壁式安装，无直管段要求，易于安装与使用
• 输出方式灵活，既可通过通讯接口主动上传数据(RS232)或由*机查询输出数据(RS232 / I²C)，也可通过模拟接口输出线性的模拟电压
• *点稳定度高
• 全量程高稳定性、高*度和优良的重复性
• 低功耗、低压损
• 响应速度快

机械尺寸：

技术参数：

FS5001
量程范围	0～20,50,200,500,1000,或根据客户需求定制	sccm
量程比	>100：1
精度	&plu*n;（1.5&plu*n;0.2FS）	%
重复性	&plu*n;0.75	%
*点输出飘逸	&plu*n;30	mV
输出飘逸	0.16	%/oc
响应时间	100（默认，50，100，200，500，100设置）	ms
工作电源	8~18Vdc,50mA
输出方式	RS232,I2C,模拟电压0.5~4.5Vdc
*大流量压损	900	Pa
*大流量压力	0.8	MPa
工作温度	-5~+45	oC
存储温度	-20~+55	oC
工作湿度	<95%RH(无结冰、无凝露)
机械接口	M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接头（配转接模块）
校准方式	空气（或其他气体），20oC,101.325kPa
重量	17.5	g