压阻式压力传感器芯体

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品牌:华威博实 型号:HT-13 种类:力敏 材料:扩散硅 材料物理性质:半导体 材料晶体结构:单晶 制作工艺:集成 输出信号:模拟型 *护等级:*5 线性度:0.15(%F.S.) 迟滞:0.02(%F.S.) 重复性:0.02(%F.S.)

HTXX系列恒流供电隔离膜硅压阻式压力传感器芯体的*是一个扩散硅压敏元件,被测介质压力(或压差)通过隔离膜片硅油传递到硅桥片,利用扩散硅的压阻效应原理,实现测量液体、气体压力大小的目的。该传感器采用ISO技术封装,具有很高的*性、重复性和稳定性。

一、技术参数

输入激励:1.5mA

输入阻*:3kΩ~6kΩ

输出阻*:2.5kΩ~6kΩ

*缘电阻:≥100MΩ/50VDC

被测介质兼容性:与316L不锈钢兼容的气体和液体

响应时间:≤1ms(10%~90%)

二、性能参数

参数

量程

典型值

*大值

单位

非线性

0~0.35~3.5MPa

&plu*n;0.15

&plu*n;0.3

%F.S

3.5~35MPa

&plu*n;0.2

&plu*n;0.3

%F.S

35~60Mpa

&plu*n;0.25

&plu*n;0.5

%F.S

重复性/迟滞

0.02

0.05

%F.S

*位输出

0&plu*n;1

0&plu*n;2

mVDC

满量程输出

100&plu*n;10

100&plu*n;30

mVDC

*位温度误差

&plu*n;0.5

&plu*n;0.8

%F.S

满量程温度误差

&plu*n;0.5

&plu*n;0.8

%F.S

过载压力

3倍满量程或100Mpa(取两者较小压力值)

温度补偿范围

工作温度范围

0~70

-20~80


贮存温度范围

-40~125

以上参数测试条件:供电1.5mADC,室温25℃