供应Met One标准粒子发生装置 255

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深圳市奥斯恩净化技术有限公司

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技术参数
气体尘埃粒子计数器的校正程序 • 校正所需设备 • 100 级洁净房或洁净台 • 一台用于作对比,尚在校正期内的尘埃粒子计数器,如 Metone3400 • 各粒径的标准粒子,如 0.3um ; 0.5um ; 1um 等等 • 标准粒子气体产生器,如 Model 255 • 可产生脱离水( DI 水)的纯水系统或类似装置 • 其它普通电器,如 220V 电源插座,万用表等等

•  校正的基本原理

标准粒子(如 0.301um )通过 255 粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过 0.2um 的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校 0.3um 粒径的测试值。如果其平均值在 20% 以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,*要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。

三 . 校正的基本步骤:

现假设对一台常见的 Metone227B 作校正

•  *先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差别,其测试原理一样,但 Metone3413 流速为 1CFM (立方英尺 / 分钟),而 Metone227B 则为 0.1CFM 。

•  *先,请将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开 Metone227B 和 Metone3413 ,让其预热半小时。

•  准备好 255 的取样器管,并搭接好其*气体管路。

•  将配好的标准液(如 0.301um )放入脱原子瓶中,注意勿让液体*过喷嘴。

•  设置 Metone3413 和 Metone227B 的基本参数

•  取样时间都设置为 00 : 01 : 00

•  取样次数都设置 03

•  取样模式都设置为 Auto

•  间隔时间都设置为 00 : 00 : 05

•  读数模式都设置为 Cumulative

注:以上设置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 测试结果会是 Metone227B 的 10 倍。

•  此时,打开 255 电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约 60SCFH 时后,保持其工作状态。

•  此时,让 Metone227B 和 Metone3413 同时工作,看其三次的平均结果,若在 20% 以内,视为合格。

•  拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。

•  以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。

型号/规格

255

品牌/商标

Met One