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ID-3M |
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可采用2D/FULL3D进行*测定
【特点】
采用彩色*相机和多种类照明,基本性能大幅度*
●多用途
可进行2D/3D测定,因为可以以PIN为单位来指顶3D的测定区域,因此可以根据目的使用各种各样的程序
●*比
根据并用2D/3D的事，一边持(有)真正的3D图解测量机能一边实现了2D测量机级的*比。
●彩色多照明
上面和侧面采用的可变化1677万中颜色的彩色LED光源,根据基板的种类,选择*适合的颜色,进行准确的测定。
●丰富的周边程序
由于*应用软件支持从被要求的数据的作成到测量结果的验证。 |
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【规格】
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项目 |
规格 |
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测定项目 |
面积,偏移量,高度,体积(3D图形) |
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照相机 |
彩色数字照相机 |
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测定分辨率 |
8.5μm、17μm（固定、订货时指定） |
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视野 |
9.75×7.5mm（8.5μm分辨率时）
19.5×15mm（17μm分辨率时） |
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照相方式 |
上、横、2方向 1677万色可变可能,多彩色LED可以从上面和侧面2个方向变化1600万颜色 |
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激光 |
半导体激光(细长形状) |
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测定速度 |
2D测定时：0.35sec/视野 835mm2/sec（17μm分辨率时）
3D测定时：20mm/sec MAX(X,Y分辨率时) |
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测定基板外形尺寸 |
50×50mm～250×330mm |
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基板厚度 |
0.5～3.2mm（搬送台可） |
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*范围 |
基板尺寸-3mm |
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相反范围 |
±2.5mm |
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装置外形尺寸 |
974×851×1330mm |
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本体重量 |
约400kg |
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电源 |
AC100V 2KVA以下 |
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空气 |
0.5MPa |
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