品牌:美国MKS 型号:2179A 类型:质量流量计 测量范围:10sccm~20slm（m3/h） 适用介质:气体
2179A
质量流量控制器（带关闭阀的通用型）
2179是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，它带有一个关闭阀，可在多种应用场合测量和控制气体的流量。配上合适的压力传感器，它还可以用作压力控制器。
常闭的气密关闭阀门正向关闭时的泄漏量*为4 x 10-9scc/sec（He）。它具有数字和模拟两种模式，其精度为全量程的1％和读数的1％。2179具有很小的功耗：在常规直流&plu*n;15V供电工作时，单元电流*有100mA（在*初开机阶段为200mA）。
例：型号2179A00411CR16VXX 采购序列号
校准气体（SEMI气体编号）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
校准流量SCCM－*大20000（相当氮气）
