欧母龙 EE-SPY801 EE-SPY802 晶圆片托架落座传感器

EE-SPY801/802

晶圆片托架落座传感器

薄片载体的落座检测 ■依靠与导槽并用，设定落座位置。 ■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。化学性能。 ■在的光学结构，几乎可稳定检测晶圆片托架。 ■采用强*外部干扰光的变调光方式。 ■电线使用净化电线(无粉尘)。

额定值 / 规格

项目型号		EE- SPY801/802
检测距离 (标准检测物体)		0～5mm （反射率90% 白色纸15×15mm2 ） 0～3mm （反射率10% 黑色纸15×15mm2 ）
检测物体		晶圆片拖架（透明体·不透明体）
动作显示灯		物*测时灯亮（橙色）
光源(发光波长)		GaAs红外发光二*管(940nm)
电源电压		DC12～24V&plu*n;10% 脉动(p-p)5%以下
消耗电流		30mA以下
控制输出		NPN型：集电*开路输出、DC5～24V、100mA以下残留电压：0.8V以下(负载电流100mA时) 残留电压：0.4V以下(负载电流40mA时)
应答时间		5ms以下
使用环境照度		受光面照度白炽灯、太阳光：3,000lx以下
环境温度		动作时：－10～＋55℃、保存时：－25～＋65℃ （不结冰）
环境湿度		动作时：5～85％RH、保存时：5～95％RH （不结露）
振动（耐久）		1～500Hz 复振幅1.0mm或150m/s2 X、Y、Z各方向 3次、11min/次
冲击（耐久）		500m/s2 X、Y、 Z各方向 3次
保护结构		IEC规格 IP30
连接方式		导线引出型(标准导线长2m)
质量（捆包状态）		本体(传感器)：约43g、附件(导槽 )：约9g
材料	外壳	四氟乙烯共聚合物（ETFE）
	底板	聚对苯二甲酸丁二醇酯
附件		使用说明书

■EE-SPY801/802

　产品规格*供参考，详细信息请于业务员联系。

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是否提供加工定制

否

品牌

OMRON/欧母龙

型号

EE-SPY801 EE-SPY802

种类

光电

材料

聚合物

材料物理性质

*缘体

材料晶体结构

多晶

制作工艺

薄膜

输出信号

开关型

*护等级

详见说明

线性度

详见说明（%F.S.）

迟滞

详见说明（%F.S.）

重复性

详见说明（%F.S.）

灵敏度

详见说明

漂移

详见说明

分辨率

详见说明