厂家供应等离子3靶溅射仪 溅射仪

技术参数：

等离子3靶溅射仪主要技术参数如下：

1、靶（上部电*）：直径：45mm，厚度：0.12mm
2、真空样品室： 直径：160mm，高：120mm
3、溅射面积：Ф45mm，三区域
4、真空指示表： *高真空度：≤4X10-2 mbar
5、离子电流表： *大电流：50mA
5、 定时器： *长时间：900S
6、微型真空气阀： 可连接φ3mm软管
7、可通入气体： 多种
8、*高电压：-1600（-3000）DCV
9、机械泵：2L/S