欧母龙 传感器 EE-SA801 按钮型微型光

落座检测

EE-SA801 按钮型微型光电传感器

通过采用按钮型，可以确切检测以往难
以检测的物体
■根据半导体FOUP盒的规格，不受底面材料、颜色、反射
率的影响，确切检测FOUP盒的落座。
■薄型设计，可以装备在搬送臂等上。
■4方向指示灯，*视觉识别性。
■采用光学方法检测驱动器的动作，寿命较长。
(机械性寿命500万次以上)
■备有NPN/PNP两种输出模式。

EE-SPY801/802 晶圆片托架落座传感器

薄片载体的落座检测
■依靠与导槽并用，设定落座位置。
■晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。*化学性能*。
■在*的光学结构，几乎可稳定检测*晶圆片托架。
■采用强*外部干扰光的变调光方式。
■电线使用净化电线(无粉尘)。