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产品属性
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SET3/1064/532/355,SFT3:激光调阻机
产品特点:
--调阻精度高
l *的激光器提供了TEM00高光束质量和*细线宽的激光束
l 四线制*测量系统,测量时间*为25us
l 拥有软件预调误差补偿功能
--调阻速度快
l *的激光器拥有*高的重复频率,在*光斑重叠率的情况下能拥有很*度
l 德国*扫描振镜,扫描速度*快
l *分步重复机构,空气轴承,移动速度及加速度快
--*性高
l 整机配置*器件均采用原装*配置
l 采用花岗岩台座,稳定*
--*大
l 拥有温度实时补偿功能
l 同时具有激光划片和打标功能
--运行及维护成本低廉
l 采用半导体端面泵浦或光纤激光器
l 使用寿命长,性能稳定
l 电光转换效率高,节约用电成本
l 采用风冷系统,无须外置冷却设备
l 操作简单,无须高额培训成本
激光调阻机技术参数:
--激光器系统
l 激光类型:半导体端面泵浦激光器 / 光纤激光器
l 激光波长:1064/532/355nm
l 激光平均功率:10W / 20W / 7W(UV355)
l 激光频率:200Hz-50KHz
l 典型光斑尺寸:30µm
实际切口取决于材料、光学器件和波长;可根据需要选配532绿激光或355紫外激光*小光斑达12µm
l 泵浦源使用寿命:20,000—100,000小时
l 冷却方式:风冷
l 对焦方式:计算机程序控制
--激光束定位系统
l 激光束运动范围:75mmX75mm(可选配其他规格)
l 点到点运动时间:5ms(典型)
l *大速度:7000mm/s
l 重复定位精度:2.5µm
l 激光束*小步进:0.76µm
--图像*系统
l *方式:激光同轴*
l *大放大倍数:>100倍
l 图像*显示屏:19寸液晶
--测量系统
l 激励方式:电流/电压激励
l 恒流源:0.01µA~100mA计算机程控选择
l 恒压源:0~20V计算机程控选择(可选其它电压范围)
l 电阻测量方式:四线制加电流测电压
l 直流电压测量:10mV~10V(满程电压)
l 调节对象发热控制:程序可设定
l 电阻测量精度:低阻:<0.05%+1%/R (R<100Ω)
中阻:<0.05%
高阻:<0.05%+0.02%R(R>0.1MΩ)
l 电阻测量范围:0.01Ω-500MΩ
l 电阻测量速度:25µs
l 直流电压分辨率:0.16µV(在10mV满量程条件下)
l 探针板:44针11组四线制(可选其它规格)
l 探针板运动:计算机程序控制
--计算机及软件系统
l 工业控制计算机(双核),17寸液晶
l 操作系统:Windows XP
l VB平台开发的可视化应用软件,界面友好,*大
--分步重复运动系统
l 运动XY范围:290x260mm
l 运动分辨率:1µm
l 定位精度:小于6µm(带误差补偿)
l 重复定位精度:小于3µm
l *大运动速度:900mm/s
l 具有温度补偿等功能
--非接触温度测量
l 温度测量精度:0.2℃
l 调阻温度修正:计算机程序控制
--其它技术指标
l 供电电压:220V AC
l 整机功耗:小于1000W
应用和市场:
激光调阻机主要应用于厚膜、薄膜电路的精密调节。广泛应用于
l 厚膜混合集成电路
l 电子元器件
l 汽车电器
l 传感器
l *科研
l 片式电阻等行业
激光调阻机样品图片:
厚膜混合集成电路 汽车电器 传感器