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产品属性
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B*TACE 9系列气体质量流量计及控制器,是其5系列流量计的升级版,采用了316不锈钢接液材质及17-4不锈钢阀门材质,在获得更*度、洁净度、耐用性能的同时,保持了5系列*位、小体积等优点,同时,产品具有CE认证,且可选LCD蓝色背光显示屏,使得9系列产品在应用于设备配套、过程控制测试设备等工况的同时,还可用于大学、实验室、流量校准等场合。
9系列产品也采用了热式测量原理,因此具有热式原理的*、高灵敏性、宽量程比等特点,且无需平方根修正。同时采取了毛细管取样方式,具有*低的能耗。每台设备出厂前都会按照客户指定的气体、量程,严格地按照NIST标准进行出厂校准,同时,比例调节阀嵌入在流体通道内,从而*了精巧的体积。
技术参数:
量程:流量计5SCCM~30SLPM;控制器5SCCM~20SLPM
材质:接液部位:316L不锈钢;外壳:17-4不锈钢
阀座及阀芯:17-4不锈钢
密封材质:标配为氟橡胶(Viton)
可选丁纳橡胶Buna,全氟醚橡胶KalRez
泄漏率:不*过1×10 毫升/秒,氦气
环境温度及介质温度:0-60℃
精度:1%FS(包括线性精度)
量程比:100:1
响应时间:500ms
重复性:*0.15%FS
压力*限:1000PSIG
*大压降:流量计:250Pa
控制器:7-14KPa(500SCCM以下)
控制器:35KPa(500SCCM-20SLPM)
电源:24VDC@250mA(流量计)24VDC@350mA(控制器)
输出:0-5VDC或4-20mA(此回路不可接入电源)
设定点信号:内置0-5VDC或外置0-5VDC(需去掉跳线)
电气连接:9针D接口(9 Pin Sub D)
温度影响系数:*0.05%FS/℃
压力影响系数:*0.01%FS/PSI
标准温度:21℃
标准压力:760Torr
重量:流量计:440g 控制器:460g
9系列
B*TACE