检测晶棒，晶片角度，硅单晶棒X射线定向仪

用途：该仪器专门用硅单晶棒定向测量，与我公司生产的YX-5Z/6Z及多线切割设备配套使用，*大特点是，测量晶向后直接计算出晶棒的偏转角，X和Y值，并对偏晶向的要求可进行准确计算出偏晶向的角度值。

结构：该仪器有X射线控制器、测角仪、记录仪、电磁光闸、微机控制、键盘、输入信息、屏幕菜单显示、数据打印、角度显示、峰值强度表等组成。

计算软件采用国际通常算法，以度为单位，显示*小精度0.001度，测量精度&plu*n;0.008度（&plu*n;30′），能够测量直径4～10英寸，长500㎜，测量晶面为111、100等。

型号：YX-6D为单测角仪，定向计算。

YX-6DA为单测角仪，定向计算。全封闭*护罩。

主要指标：电 源：220V 50HZ

功 率：0.5KV

管电压：30KVP

管电流：0-5mA

晶棒直径：3～12英寸

晶棒长度：500㎜

测量晶面：111、100

定向精度：0.008度（&plu*n;30′）

*小读数：0.001度

射线窗口：电磁脚踏光闸

计算角度：α与β（X与Y）

尺寸：长380×宽950×高120