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显示部 | LMG | LMG | LMG | LMG | LMG | LMG | LMG | LMG | LMG | LMG | |||||||||||||||||||||
光源 | 可视光(670nm) | ||||||||||||||||||||||||||||||
測定范围(mm) | 0.01 - 2 | 0.05 - 12 | 0.2 - 30 | 0.2 - 30 | 0.5 - 55 | 0.5 - 60 | 0.5 - 80 | 0.5 - 80 | 0.7 - 150 | 0.7 – 220 | |||||||||||||||||||||
*小表示値 | 0.05 (1)μm | 0.1(1)μm | 1μm | ||||||||||||||||||||||||||||
0.000002(0.0001)inch | 0.00001(0.0001)inch | 0.0001inch | |||||||||||||||||||||||||||||
測定精度 | 总合 | &plu*n;0.3 | &plu*n;1 | &plu*n;2 | &plu*n;3 | &plu*n;3 | &plu*n;4 | &plu*n;4 | &plu*n;5 | &plu*n;12 | &plu*n;15 | ||||||||||||||||||||
直線性 | &plu*n;0.3 | &plu*n;0.5 | &plu*n;1.5 | &plu*n;2.0 | &plu*n;2.0 | &plu*n;2.5 | &plu*n;2.5 | &plu*n;4 | &plu*n;8 | &plu*n;12 | |||||||||||||||||||||
繰返 | &plu*n;0.2 | &plu*n;0.2 | &plu*n;0.3 | &plu*n;0.5 | &plu*n;0.5 | &plu*n;0.5 | &plu*n;0.5 | &plu*n;1 | &plu*n;2 | &plu*n;2 | |||||||||||||||||||||
扫描频率 | 1800回/s | ||||||||||||||||||||||||||||||
扫描速度 | 42m/s | 110 m/s | 175 m/s | 175 m/s | 350 m/s | 350 m/s | 350 m/s | 420 m/s | 560 m/s | 420 m/s | |||||||||||||||||||||
周围温度 | 0 – 45(℃) |