品牌:HD170质量流量计 型号:HD170质量流量计 类型:质量流量计 测量范围:小量程:5SCCM～10SLM 中量程:10SLM～30SLM 大量程:30SLM～2000SLM（m3/h） 精度等级:流量：&plu*n;3%F.S 压力：0.5% F.S 温度：&plu*n;1℃ 公称通径:DB15孔（mm） 适用介质:真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,* 工作压力:工作压差：0.03～0.5MPa（MPa） 工作温度:0～50℃（℃）
一.概述
HD170直接热式MFC/MFM采用热式测量原理，直接用两支快速反应的铠装传感器测量气体流量。由于没有层流元件，并采用哈氏合金传感器，HD170用于易结晶和腐蚀性的气体测量。对低压管道或者压力损失小的应用，HD170也同样适用。
HD170直接热式MFC/MFM与其它差压原理的HD170一样，具有三路流量/压力/温度显示和输出功能。
二．使用范围
产品主要用于真空,镀膜,石油化工,煤炭冶金,制气配气,*及各种分析,科研院所实验设备。
三.产品特点
●直接热式原理，无层流元件
●无压损,*结晶,*腐蚀
●适用于各种低压和高压管道
●*测量和控制气体的质量流量
●预热时间短,*漂小，*性高
●多种气体可选,也可自行输入 | 四.技术参数 |
技术指标 | HD173-RC质量流量控制器 | HD173-RM质量流量控制器 | | 量程范围 | 小量程:5SCCM～10SLM中量程:10SLM～30SLM大量程:30SLM～2000SLM | | 控制范围 | 控制器20：1 | 流量计20：1 | | 准确度 | 流量：&plu*n;3%F.S压力：0.5% F.S温度：&plu*n;1℃ | | 线性 | &plu*n;0.5%F.S | | 重复精度 | &plu*n;0.2%F.S | | 响应时间 | 100ms | 10ms | | 数字量 | RS232/485，MODBUS协议 | | 模拟量 | 0～5V、4～20mA、1～5V | | 供电 | 12V/24V/&plu*n;15V可选 | | 工作温度 | 0～50℃ | | 工作压力 | 工作压差：0.03～0.5MPa | 工作压降：<0.01Mpa | | *大耐压 | 低压1MPa，中压3MPa，高压10MPa | | 电气连接 | DB15孔 | | 漏率 | 1×10-9SCCSHe | 温度系数 | &plu*n;0.015%F.S/℃ | | 底座材质 | 316L | 密封材料 | 氟橡胶,氯丁橡胶，丁晴橡胶 | 接头 | VCR1/4;swagelokφ6 |
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