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供应多晶硅片156

地区：上海 上海市
认证： 无

上海森驰科技发展有限公司

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牌号:HT 产地:中国 含量≥:≤1.0*1018 at/cm3（%）

156*156多晶硅片规格标准：

　生长方法

　Growth Method

　DSS

　导电型号
　Conductive T*e
　P
　掺杂剂
　Dopant
　B
　电阻率
　Resistivity（ρ）
　1.0 -3.0Ω·cm
　少子寿命
　Minority Carrier Lifetime
　≥2μs(brick 硅块)
　氧含量
　Oxygen Content(oi)
　≤1.0*1018at/cm3
　碳含量
　Carbon Content(c)
　≤1.0*1017at/cm3
　硅片尺寸
　Size
　156*156&plu*n;0.5mm
　倒角线角度
　Bebel Edge Angle
　45°&plu*n; 10°
　倒角线宽度
　Bebel Edge Width
　0.5-2mm
　硅片厚度
　Thickness
　200&plu*n;20 μm
　总厚度变化
　TTV
　≤30μm
　线痕
　Saw Mark
　≤15μm
　弯曲度/翘曲度
　Bow/Warp
　≤75μm
　崩边
　chip
　深度<0.3mm；长度<0.5mm。
　微裂纹
　Crack
　不允许
　外观
　Appearance
　目视检查无污点,缺口,孔洞和裂纹
　晶粒尺寸
　Crystal Grain
　≥1cm2