美国MKS πMFC 压力不敏感质量流量计

品牌:美国mks 型号:πMFC 类型:气体流量传感器 测量范围:10 sccm – 50 slm（m3/h） 精度等级:1% 适用介质:多种气体 工作压力:依流量而定（MPa） 工作温度:常温（℃）

大连瑞闻科技有限公司为您提供*、高质量美国MKS πMFC压力不敏感质量流量控制器！

πMFC压力不敏感质量流量控制器主要具有以下显著优点：

1、通过一个*的数字算法，使得控制器对上游和下游的压力扰动不敏感，实现了*的实时流量控制.

2、与通常基于PID的数字MFC相比，该款能实现工艺气体流量的实时控制而*大地*了控制精度，具有更好的工艺腔室匹配性.

3、系统集成的压力传感器和及其LED显示可减少所需一个气体Stick的组成数目，基于网络的浏览器界面使客户可以实时地进行控制器的设置和故障排除，从而减少了对“无故障”MFC的替换并且无需中断工艺气体输送.

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