品牌:美国MKS 型号:910 类型:便携式压力计 测量范围:0.0001-1500TORR(kPa) 精度等级:0.5% *大工作压力:1500torr(MPa) 适用范围:真空
紧凑型
1,910系列传感器保函一个直读式*对压电传感器和一个*的MICROPIRANI传感器
2,测量范围从0.0001-1500torr
3,具有温度补偿功能,在大的测量范围中具有高的测量精度
4,有别于传统的PIRANI压力计,910系列组成部分的MICROPIRANI单元制作在一个一平方毫米硅芯片,能在很小的体积内进行压力测量
5,传感器敏感部分的尺寸很小,能测量从常压到10-5TORR