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VENA®射频自动匹配器 VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物*象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,主要功能是实现全自动匹配,解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器,使用起来十分不便,在设备启动后抽真空加功率起辉过程中,要不断地调整手动匹配器的阻*而使输出*工艺的要求,而自动匹配器则可以弥补这一缺陷,具有自动,快速,*,*,准确,节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降*程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。 特点与优势: 1、性能**,长时间工作稳定 优势 特点
2、实时反射功率测量与控制
3、优化的设计,安装、使用与维修均十分简便
4、匹配范围广,适用于复杂多变的负载系统
5、传输效率高
6、运行噪声小
7、屏蔽*
8、严格的*性测试主要功能特性 频率 13.560MHz *大传输功率 500w 反射功率(*大功率时) <3w *大负荷电流 10ARMS *大负荷电压 4000VRMS 传输效率 >90% 负载阻* 50Ω RF输入连接器 50 Ω, UHF(或N-t*e), female *大等离子直流偏置电压 0 to 2.000 VDC 直流偏置电压检测值 0~5VDC 匹配时间 3~5s 主电感 8圈 主电容 空气电容 可匹配阻*实部范围 0~80Ω 可匹配阻*虚部范围 -j200~~+j100 RF输入连接器 50 Ω, UHF(或N-t*e),可自定制 接口与冷却方式 控制接口 自动手动控制窗口 冷却方式 风冷 风流量 48CFM 电源 AC电源 220VAC AC频率 50/60Hz 电源功率因素 90%(*大功率时) 机械特性 表面安装螺丝 6-32螺丝 重量 5kg 尺寸 430mm(D)x220mm(W)x130mm(H),或可自定制