射频自动匹配器

品牌:K-mate 型号:VENA-500 外形尺寸:430mm（D）x220mm（W）x130mm（H）（mm） 适用范围:射频自动匹配器 产品认证:ISO9001:2000

VENA®射频自动匹配器

　　VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物*象沉积，化学气象沉积，磁控溅射，以及太阳能制造设备PECVD等设备当中，主要功能是实现全自动匹配，解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺；目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器，使用起来十分不便，在设备启动后抽真空加功率起辉过程中，要不断地调整手动匹配器的阻*而使输出*工艺的要求，而自动匹配器则可以弥补这一缺陷，具有自动，快速，*，*，准确，节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等，从而使您能够发现并显著降*程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。

特点与优势：

优势

特点

1、性能**，长时间工作稳定 2、实时反射功率测量与控制 3、优化的设计，安装、使用与维修均十分简便 4、匹配范围广，适用于复杂多变的负载系统 5、传输效率高 6、运行噪声小 7、屏蔽* 8、严格的*性测试 主要功能特性 频率 13.560MHz *大传输功率 500w 反射功率（*大功率时） <3w *大负荷电流 10ARMS *大负荷电压 4000VRMS 传输效率 >90% 负载阻* 50Ω RF输入连接器 50 Ω, UHF（或N-t*e）, female *大等离子直流偏置电压 0 to 2.000 VDC 直流偏置电压检测值 0~5VDC 匹配时间 3~5s 主电感 8圈 主电容 空气电容 可匹配阻*实部范围 0~80Ω 可匹配阻*虚部范围 -j200~~+j100 RF输入连接器 50 Ω, UHF（或N-t*e），可自定制 　接口与冷却方式 控制接口 自动手动控制窗口 冷却方式 风冷 风流量 48CFM 电源 AC电源 220VAC AC频率 50/60Hz 电源功率因素 90%(*大功率时) 机械特性 表面安装螺丝 6-32螺丝 重量 5kg 尺寸 430mm（D）x220mm（W）x130mm（H），或可自定制