射频自动匹配器

地区:广东 中山
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品牌:K-mate 型号:VENA-500 外形尺寸:430mm(D)x220mm(W)x130mm(H)(mm) 适用范围:射频自动匹配器 产品认证:ISO9001:2000

VENA®射频自动匹配器

  VENA系列自动匹配器用于0-1500W的真空镀膜、等离子刻蚀、等离子清洗、物*象沉积,化学气象沉积,磁控溅射,以及太阳能制造设备PECVD等设备当中,主要功能是实现全自动匹配,解决了现在国内真空镀膜设备中的一个技术空缺;目前国内主要真空设备厂家的产品大多使用手动匹配器,使用起来十分不便,在设备启动后抽真空加功率起辉过程中,要不断地调整手动匹配器的阻*而使输出*工艺的要求,而自动匹配器则可以弥补这一缺陷,具有自动,快速,*,*,准确,节省人力和时间等特点。可选的射频系统检测模块可实时检测出系统的正反功率、驻波比、射频信号峰值电压、电流、直流偏置电压等,从而使您能够发现并显著降*程变化性。产品覆盖500W, 1000W, 1500W等功率。

特点与优势:

 优势 特点

1、性能**,长时间工作稳定
2、实时反射功率测量与控制
3、优化的设计,安装、使用与维修均十分简便
4、匹配范围广,适用于复杂多变的负载系统
5、传输效率高
6、运行噪声小
7、屏蔽*
8、严格的*性测试

主要功能特性
频率13.560MHz
*大传输功率500w
反射功率(*大功率时)<3w
*大负荷电流10ARMS
*大负荷电压4000VRMS
传输效率>90%
负载阻*50Ω
RF输入连接器50 Ω, UHF(或N-t*e), female
*大等离子直流偏置电压0 to 2.000 VDC
直流偏置电压检测值0~5VDC
匹配时间3~5s
主电感8圈
主电容空气电容
可匹配阻*实部范围0~80Ω
可匹配阻*虚部范围-j200~~+j100
RF输入连接器50 Ω, UHF(或N-t*e),可自定制
 接口与冷却方式
控制接口自动手动控制窗口
冷却方式风冷
风流量48CFM
电源
AC电源220VAC
AC频率50/60Hz
电源功率因素90%(*大功率时)
机械特性
表面安装螺丝6-32螺丝
重量5kg
尺寸430mm(D)x220mm(W)x130mm(H),或可自定制