供应气体质量流量控制器(MFC)

品牌:Line Tech 型号:M3030V 类型:质量流量计 测量范围:0---35L/min（m3/h） 精度等级:1%fs 公称通径:1/8,1/4,3/8,1/4（mm） 适用介质:气体 工作压力:0-9（MPa） 工作温度:0-50（℃）

项目M3030V型M3030A

1流量规格（N2）10sccm～30slpm

(可以根据客户要求在10sccm到30slpm中任意一段量程进行标定）

2准确度 &plu*n;1% F.S（Full Scale）

3重复精度 &plu*n;0.25 % F.S（Full Scale）

4响应时间 ≤3sec (*要求：:≤1sec )

5耐压 *高95 bar

6工作环境温度5℃~ 65℃

7输入输出信号0 ~ 5Vdc or 4 ~ 20mA

8电源 &plu*n;15Vdc, 350mA

9外形尺寸

总长：依进气口、出气口接头规格而定

宽：36mm高：138mm

1结构

气体质量流量计由流量传感器( Sensor )，分流器通道和流量放大电路等部件组成；在气体质量流量计的基础上，再加上调节阀门和PID控制电路就构成了气体质量流量控制器。M系列气体质量流量控制器.

M2030气体质量流量计与M3030型气体质量流量控制器相比，在结构上它们的不同点是，M2030气体质量流量计少了电磁调节阀（Solenoid Valve），其它部分基本相同。

2工作原理

流量传感器采用毛细管传热温差量热法原*体的质量流量（无需温度压力补偿）。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，放大后的流量检测电压与设定电压进行比较，再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使用之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与之配套的FM-30VE系列Readout Box上设置有稳定电源，3位半数字电压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关等。相控制器与流量显示仪连接后的工作原理。

控制器输出的流量栓检测电压与流过通道的质量成正比，满量程（F.S）流量检测输出电为＋5V。气体质量流量控制器的流量控制范围是（2~100）％F.S (程比为50:1 )，流量分辨率是0.1％F.S。

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李宇航