品牌:Line Tech 型号:M2100 类型:质量流量计 测量范围:0-120L/Min（m3/h） 精度等级:1%fs 公称通径:1/4 1/8 3/8inch（mm） 适用介质:各种气体 工作压力:9（MPa） 工作温度:0-50（℃）
气体质量流量控制器( M* Flow Controller 简称MFC )能够在较大的量程
范围内对气体的质量流量进行精密测量和控制。
气体质量流量计( M* Flow Meter 简称MFM )能够在较大的量程范围内
对气体的质量流量进行精密测量。
它们在石化工业、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、*和
真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的场合包括：电子工艺
设备，如、氧化、CVD、扩散、外延、等离子刻蚀、离子注入、溅射、；以及微
反应装置、混气配气系统、镀膜设备、光纤熔练、气相色谱仪及其它分析仪器 。
Line-Tech Ltd.致力于对产品的性能和生产工艺的不断改进。对M 系列气
体质量流量控制器（MFC）和气体质量流量计（MFM）进行了*的技术改造，
在功能和性能上有了进一步的*。
M 系列气体质量流量控制器和质量流量计具有精度高、响应速度快、重
复性好、稳定性佳、软启动、工作压力范围宽等特点(可以在高压或真空条件下
工作)，其操作使用方便，可任意位置安装调试，并更好的与计算机连接实现自
动控制。
