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气体热导传感器采用*的MEMS工艺加工,TO8封装。具有功耗低、高灵敏度,小尺寸,快速响应,温度范围宽、时间常数小、集成化高的特点,*冲击能力强。 广泛应用于天然气、氙气、CO2、CH4、H2等成分或含量测量,也可用于测量*小的气体容积变化。
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