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产品属性
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石英晶体膜厚控制仪/检测仪/探头/晶片
型号:MDC
探头形式
型号 |
晶片数 |
耐烘烤 |
长度调节 |
晶片方向 |
ASF140/141 |
1 |
否 |
可以 |
双向 |
BDS250/251 |
2 |
可以 |
否 |
双向 |
BSH150/151 |
1 |
可以 |
否 |
双向 |
DSH200 |
2 |
否 |
否 |
双向 |
DSH5P1 |
2 |
否 |
可以 |
双向 |
RSH600 |
6 |
可以 |
可以 |
垂直或者45º |
SF120 |
1 |
否 |
可以 |
平行 |
SH101/102 |
1 |
否 |
可以 |
双向 |
该设备具有*大的自我检测系统,在自动运行模式过程中 ,即使在感应器晶片失效情况下,仍可在无需人工操作情况下完成预设镀膜程序。执行运行条件与中止功能可由操作员设定 。
·性能
MDC360 具有多重性能,**设备调整即可,具备多种半导体技术和*微处理器用途。
·动态检测更新速率
动态检测是由 0.5 至 10 Hz (赫兹) 之间调整,使之**佳分辨率及控制。
·优良的图象显示
MDC-360 配备了 256x64 像素液晶图象显示器,使之具备重要数据的即时显示,例如速率速率偏差膜厚及功率。
·程序*
MDC-360 配备了*编辑功能,以*已储存的程序的完整及不被其他人随意改动。
·运行过程无需人为操作设计
MDC-360 已具备真正的全自动运行至程序结束功能,并且具有*大的内在监测及*异常中断线路,使异常中断的可能性降至 。
·*故障中止
在运行过程中,如果出现故障MDC360 内在检测证实,运行无法继续MDC360 将中止程序运行并且关闭*输出,同时在速率控制错误或晶片故障时,MDC360可提供给操作者选择运行中止。
·保持程序中断状态
当MDC360 中断镀膜运行时,相关的运行信息将被储存起来,待故障排除后被中止了的镀膜运行将可继续进行。
·晶片失效时完成运行
MDC360 的内在监测与中止运行功能,是为了保护镀膜设备*以及避免设备在运行过程中发生严重故障,运行过程中晶片失效属于例外情况 ,可以不*中止运行程序,在此状态下MDC360 可以设定为中止运行,但也可设定为转换备用晶片或时间/功率方式继续运行。
·*能系统界面
*可程序化的*的输入和输出,使 MDC360 很容易与镀膜系统的界面连接,以控制更复杂的运行过程,同时为避免短路故障源*控制输出是***缘的。MDC360 还支持并接收光学膜厚仪的光学膜厚终止信号。
·电源干扰公差
完整的 RFI 滤波器与大容量的电容器将可容许至 700 ms (毫秒) 以下的电源中断及*度干扰而继续工作 。
·国际标准电源接头
电源接头是经过国际认证及*合 IEC (国际电器技术协会) 标准,输入电源可选择 100 至 240 伏,50 或 60 赫兹并配备了* RFI 干扰过滤器。
·现场性能*
*式界面板和选项板可以使基础设备个体在工作现场升级至系统*别
MDC360C
MDC360C
普通型
贴片式