气相掺杂区熔硅单

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型号:气相掺杂区熔硅单 气相掺杂区熔硅单晶 利用杂质的扩散机理,在用区熔法拉制硅单晶的过程中加入气相杂质氛围,并通过控制杂质气体的杂质含量和气体流量的方法控制单晶的电阻率。适用于各类半导体功率器件及*太阳能电池等。