供应ITO导电玻璃镀膜设备(图)

类型:镀膜机 适用原料:PE、PP、PS、PA、PC 品牌:汇成真空科技 型号:ITO导电玻璃镀膜设备 产品别名:真空电镀设备 产品用途:各类ITO玻璃镀膜
本镀膜设备是在优质浮法玻璃上采用真空磁控溅射技术，孪生阴*，中频溅射技术，并配以国际*的控制系统，镀制SO2/ITO膜层，生产过程*自动，连续进行。

主组成部分：
真空室：不锈钢制造，立式，外壁通冷却水，内衬不锈钢挡板。
真空系统：可选扩散泵系统，蜗轮分子泵系统或低温泵系统。
蒸发源：直流磁控溅靶和孪生阴*，中频磁控溅射靶，分别固定在真空室两例。
工件烘烤：采用不锈钢管状加热器配合均热板，*基片加热均匀性。
充气系统：气体质量流量计和压强自动控制仪。
电气控制系统：触膜屏与PLC自动控制，人机对话方式来实现系统的数据显示；操作与控制。
水冷系统：真空室冷却和阴*冷却，有水压保护开关和水湿开关。