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产品属性
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SEM的 应用分野
○ 半导体/Display: 饼形管座 , Mask 等的 微细模式, 线幅, 表面形象 观测
○ 素材/素子: 金属, 陶瓷, 新素材, 纳米粒子 等 各种 素材/素子的 表面特性 分析
○ 生命科学: 生物, 微生物, 菌类, 细菌, 霉 等的 观察, 研究
○ *诊断: 细胞, *, 血液, 皮肤组织 研究及检查
○ 考古学 : 化石, 矿石, 出土品 等 龟裂状态, 观察结构
○ 纳米融合技术: 精密机器 部品检查, MEMS 等 微细 构造物的 形象测定, 生物芯片的 特性分析,纳米素子和生体物质之间的反应性测定, 生体材料及生体模仿 系统等 测定.
技术性能指标:
◆ 分辨率
3.0nm(钨丝阴*)
◆ 放大倍数
10倍-300,000倍
◆ 电子光学系统
电子*:发叉式钨丝阴*
加速电压:0.5-30kV
透镜系统:三级电磁透镜
物镜光阑:三个可在真空外选择调节
◆ 样品室
六个接口,可接WDS、EDS、BSE等多种附件和探测器
◆ 样品台
标准样品台位移:X65,Y=60mm,Z=5-70mm
T=-20°~+90°,R=360°
大样品台位移:X=210mm,Y=130mm,Z=71 mm
T=0°~+90°,R=360°
◆ 计算机系统
PC机,基于MicrosoftTMWindowsTMXP软件操作系统,全中文菜单
◆ 图像显示与观察
数字图像,1280×960,2560×1920,5120×3840显示方式
扫描方式:全幅,面,线,点,选区双放大及屏幕分割
17"彩色显示器
◆ 电镜操作系统控制软件系统
*设计的操作软件,全中文菜单,*使用鼠标和键盘即可完成电镜的*操作。并且具有多种自动功能,能够记忆、存储电镜的运行状态等。
◆ 图像处理及分析
图像增强 阈值分割 粒度分析
形态学变换 图像灰度直方图显示
灰度图像的伪彩色变换
◆ 图像输出与记录
支持多种图像文件格式,支持视频打印机,及各种标准接口打印输出设备
◆ 真空系统
全自动*扩散泵真空系统(可选涡轮分子泵真空系统)