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AWM40000系列包括不带放大和放大/信号处理的信号。AWM42150V和AWM42300,使用和AWM2000相同的电路。AWM43300V和AWM43600V使用和AWM3000相同的电路。AWM43600V为6SLPM器件。
特点: ● 多个集中安装/O形密封圈 ● 陶瓷流量管(无引气管),0-1000sccm ● 塑料流量管(无引气管),0-6SLPM ● 高共模压力(150psi) ● 工作温度可至125?C ● *点和满量程高稳定性
技术指标
AWM42300V
AWM43300V
AWM43600V
流量范围 (满量程)
&plu*n;1000sccm
+1000sccm
+6LPM
输出电压 @标定点
54.7&plu*n;3.7mVDC @1000sccm
5&plu*n;0.15VDC @1000sccm
5&plu*n;0.15VDC @6LPM
*点电压
0.0&plu*n;1.0 mV DC
1.00&plu*n;0.05VDC
电源(VDC)
10&plu*n;0.01
功耗(mW)
50
反应时间(ms)
1.0
共模压力(psi)
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