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产品属性
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OX400可用于控制和*各种半导体应用,并控制环境,空气泄漏入惰性气体及其他过程。
用于半导体扩散炉和烘干炉,以及LCD制造工艺中的氧气浓度控制,用于控制锡焊炉气流和回流炉中气体的氧气浓度,以及电子制造中使用的手套箱和气体生产工艺中氧气浓度的测量,测量氧气浓度,*粉尘运输中粉尘*。
主要技术参数:
测量对象 |
惰性气体中的氧气浓度 | ||||
测量系统 |
氧化锆系统 | ||||
采样方法 |
泵式、抽提式等 | ||||
样气条件 |
流速:200±25ml/min(*适用于传感器) | ||||
测量量程 |
0~10ppm O2至0~100vol% O2 | ||||
输出量程 |
自动: |
0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,0~100%(默认) | |||
固定: |
设为0~10ppm,0~100ppm,0~1000ppm,0~1%,0~10%,或0~100% | ||||
部分: |
可设置下限值或上限值 | ||||
模拟输出 |
2路输出,第一路:4~20mA DC(*大负载电阻550Ω),第二路:可选为0~1,0~5,0~10V DC(负载电阻:10kΩ或更大) | ||||
接点输出 |
报警输出2点: |
错误接点,O2浓度报警接点 | |||
指定量程范围输出1点: |
接点输出 | ||||
多选择器(选配件): |
流路切换接点输出和测量中流路信息接点输出 | ||||
接点输入 |
1点:采样气体吸入泵的远程ON/OFF | ||||
自诊断 |
故障: |
传感器错误,加热器温度错误,温度传感器断开,设备温度错误,CPU错误,FAN停止 | |||
报警: |
加热器不稳定,传感器错误,电动势异常,非对称电压错误错误,标定错误,传感器电阻错误,O2浓度上/下限,*限 | ||||
串口通信 |
RS-232,38400 bps | ||||
标定方法 |
(1)3点:10ppm,1000ppm,空气,(2)2点:可设定为*点气和量程气标定,(3)1点,(4)空气标定 | ||||
暖机时间 |
20分以内 | ||||
电源 |
100~120V AC/220~240V AC,50/60Hz | ||||
功耗 |
100~120V AC,200VA *大,220~240V AC,400 VA *大 | ||||
尺寸 |
213 (W) x 132 (H) x 约375 (D) mm | ||||
质量 |
约5kg | ||||
管线连接 |
气体入口:Rc1/4或1/4NPT内螺纹 | ||||
环境条件 |
安装条件: |
室内,盘装或壁装,非易燃区域 | |||
环境温度: |
0~40℃,无结露 | ||||
环境湿度: |
5~85%RH | ||||
储存温度: |
-5~50℃ | ||||
±1%F.S.(10,100,1000 ppm,1%,10%或100%) | |||||
线性 |
±2%F.S. | ||||
响应时间 |
90%响应 | ||||
漂移 |
±2%F.S./周 |
OX400
Yokogawa