矽翔流量传感器FSG4000

品牌:矽翔 型号:FSG4003、FSG4008 种类:质量流量传感器 材料:混合物 材料物理性质:导体 材料晶体结构:多晶 制作工艺:集成 输出信号:模拟型 *护等级:1 线性度:1（%F.S.） 迟滞:1（%F.S.） 重复性:2%（%F.S.） 灵敏度:1 漂移:0.2%/oC 分辨率:1

简介：
FSG4000系列小流量气体质量流量传感器是专门为各类小流量的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统流量传感器芯片制作，适用于各类清洁气体。*的封装技术使之可以用于各类管径，成本低，易安装，不需要温度压力补偿，可替代容积或压差式的传统流量传感器

产品特点:
传感器灵敏度高，有*小的始动流量
传感器芯片采用热质量计量无需要温度补偿，*了传感器的高进度计量
在单个芯片上实现了多传感器集成，使其量程比大大*高
*点稳定度高
全量程高稳定性、高*度和优良的重复性
低功耗、低压损 响应速度快

FSG4003
通 径 3 mm
*大流量 1，2，5，SLPM
量程比 100:1
精 度 &plu*n;(4+1FS) %
重复性2%
*点输出飘移 &plu*n;30 mV
输出飘移 0.2%/oC
响应时间 10 ms
工作电源 8~18Vdc,50mA
输出方式 线性，模拟电压0.5~4.5Vdc
*大流量压损 100 pa
*大工作压力 0.4 MPa
工作温度 -6 ~ +55 oC
存储温度 -20 ~ +65 oC
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口 可拆式软管接头 NPT1/4
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
重量 15

FSG4008
通 径8 mm
*大流量10, 20, SLPM
量程比 100:1
精 度 &plu*n;(4+1FS) %
重复性2%
*点输出飘移 &plu*n;30 mV
输出飘移 0.2%/oC
响应时间 10 ms
工作电源 8~18Vdc,50mA
输出方式 线性，模拟电压0.5~4.5Vdc
*大流量压损 500 pa
*大工作压力 0.4 MPa
工作温度 -6 ~ +55 oC
存储温度 -20 ~ +65 oC
工作湿度 <95%RH（无结冰、无凝露）
机械接口 可拆式软管接头 NPT1/4
校准方式 空气（或其他气体），20oC，101.325kPa
重量 23