在德国,Jena地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔JENAer公司生产的ZLM700/800双频激光干涉仪在同类产品中,由于具有*的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理,德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪,是世界上*一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪,不*能够*的测量数控机床的几何量,如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等,通过配合使用球杆仪,还能够测量数控机床的回转量。 ZLM系列双频激光干涉仪采用模块化设计和可调型ASIC元件,用户可以根据测量目的的不同,选择不同的反射镜和辅助元件,以完成各种测量和控制任务。 ZLM700双频激光干涉仪主要用于单轴系统的校准和测量,ZLM800干涉仪可从单轴拓展为多轴,广泛应用于*动态加工工艺中的机械定位和系统控制。它能够*计算出机械设备的运行轨迹,并通过WINDOWS™软件按用户设定的方法对其进行分析。 配用*蔡司光学镜头,ZLM70/800双频激光干涉仪可以完成以下各种测量工作: | - 位置测量、机械定位
- 位移测量
- 速度测量
- 加速度测量
- 角度测量(俯仰角、偏摆角、滚动角)
- 振动度测量
- 直线度测量
- 垂直度测量
- 平面度测量
- 回转量测量
- 对工具和仪器进行校正
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工作原理
*型ZLM700/800激光干涉仪使用氦氖激光器,采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为0.002ppm,640MHz的频差经四倍后用于信号处理。这种高频处理信号能够对*物体进行测量,不会出现干扰误差,信号*时间*短。 采用光纤电缆,把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上,避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此,ZLM700/800双频激光干涉仪*适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。 除了计算机卡槽接口外,还可以使用其他*的电子装置进行数据处理,包括各种接口,用于数据输出和连接成为一个控制环路。ZLM800型干涉仪可以拓展为六轴测量。 性能要点 - 被测物体*大速度16m/s;
- 无干扰误差时的分辨率2.5nm(使用平面干涉镜时的误差为1.25nm);
- 无加速度限制;
- 当光线微弱时,性能也十分稳定;
- 信号*<200ns;
- 激光器寿命内,频率信号稳定;
- 对电磁干扰不敏感;
- 使用*蔡司光学元件。
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