韩国* 薄膜厚度测量仪 ST5030

品牌:K-MAC 型号:ST5030 外形尺寸:500 x 750 x 650 mm（mm） 重量:80Kg（Kg） 产品用途:测量

Stage Size	300mm x 300mm
Measurement Range	100?~ 35?(Depends on Film T*e)
Spot size	40?/20?,4?(option)
Measurement Speed	1~2 sec./site (fitting time)
Application Areas	All Capability of ST2000 & More Precision Measurement Intended for Large Size Wafer Measure
Option	Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST) Anti-vibration table
Revolving nosepiece	Quintuple Revolving Nosepiecs
Focus	Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
Incident illumination	12v 100W Halogen Lamp

本产品适用于半导体领域内，测量薄膜厚度的光学分析仪器。我公司的ST产品的测量时间*短暂，测量方法是属于非接触非破坏方法，使用显微镜可以测量很小区域内的再现性和准确性，现在，我们公司的薄膜测厚仪是远远*于使用其它方法的其它产品。

【】厚度测量领域内的分解能力属于*初微小领域测量

【】可以*于测量微小领域的厚度分布

【】可以测量Wafer上的多层薄膜厚度与光学常数-折射率与吸收率

【】可以实时的测量厚度变化量与具有角度显示，打印，保存功能

【】可以快速的在1秒之内接受data并且*data