供应VTI单轴高温度补偿倾角传感器SCA61T
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SCA61T系列是基于3D MEMS的双轴倾角传感器,它提供了水平测量仪表级别的性能。传感器的传感元件在测量时需要与测量平台保持平行,并且传感器双轴需相互垂直。低温度依赖性、高分辨率、低噪声和健全的传感元件设计让SCA100T成为水平测量仪器的*。VTI的倾角传感器对于振动不灵敏,因为他们都在传感元件内部增加了阻尼,并且能承受*20,000g的机械冲击力
参数名称 | 条件 | SCA61T-FAHH1G | SCA61T-FA1H1G | 单位 |
---|---|---|---|---|
VDD | 4.75…5.25 | 4.75…5.25 | V | |
工作电流 | VDD=5V;无负载 | 2.5…4 | 2.5…4 | mA |
工作温度 | -40…125 | -40…125 | ℃ | |
测量量程 | 常规 | ±30 | ±90 | ° |
±0.5g | ±1.0 | g | ||
频率响应 | -3dB | 8-28 | 8-28 | Hz |
*点输出(0g) | 环比输出 | VDD/2 | VDD/2 | V |
*点校正误差 | ±0.11 | ±0.23 | ° | |
*点数字输出 | 1024 | 1024 | L* | |
灵敏度 | 4 | 2 | V/g | |
0…1°范围内 | 70 | 35 | mV/° | |
灵敏度校正误差 | ±0.5 | ±0.5 | % | |
数字灵敏度 | 1638 | 819 | L*/g | |
*点温漂 | -25…85℃ | ±0.008 | ±0.008 | °/℃ |
-40…125℃ | ±0.86 | ±0.86 | ° | |
灵敏度温漂 | -25…85℃ | ±0.014 | ±0.014 | %/℃ |
-40…125℃ | -2.5… 1 | -2.5… 1 | % | |
线性度 | ±0.11 | ±0.57 | ° | |
数字分辨率 | 11 | 11 | Bits | |
0…1°范围内 | 0.035 | 0.07 | °/L* | |
输出噪声密度 | 0…100Hz | 0.0008 | 0.0008 | °/√Hz |
模拟分辨率 | 带宽10Hz | 0.0025 | 0.0025 | ° |
环比误差 | VDD=4.75…5.25V | ±1 | ±1 | % |
交叉灵敏度 | Max. | 4 | 4 | % |
长期稳定性 | <0.014 | <0.014 | ° |
SCA61T是由一颗传感元件(sensing element)与一颗ASIC组成。从上图可以看到SCA61T的主要功能模块:
下图是SCA61T倾角传感器的外观图,左侧为顶部图,右侧为侧面图。结构图使用的尺寸单位为mm。
从上图可见:使用SCA61T倾角传感器测量工作范围内的倾角时,测量角度越大输出电压越大;测量角度越小输出电压值越小;SCA61T倾角传感器在水平位置输出是电压值为2.5V。
vti
SCA61T
MEMS
塑料
单晶
无
±0.11 ±0.57 %F.S.
0 %F.S.
0 %F.S.
4V/g
25…85%/℃
11Bits