霍尼韦尔AWM5104大流量气体流量传感器

霍尼韦尔AWM5104大流量气体流量传感器 

AWM5101 

AWM5102

AWM5103

AWM5104

流量范围 

 0-5SLPM

 0-10SLPM

 0-15SLPM

 0-20SLPM

后缀-标定气体

VA-氩气（Ar）VC-二氧化碳（CO2）VN-氮气（N2）

*小         典型           *大

激励电压

8.0          10&plu*n;0.01           15

功耗（mV） 

---             ---             100

反应时间（mA） 

---             ---             60

*点输出VDC 

0.95          1.00            1.05

*点漂移，VDC-20~70℃ 

---          &plu*n;0.050           &plu*n;0.200

*大共模压力psi 

---             ---             50    

温度范围 

-20~ 70℃    

冲击指标 

100g峰值，6ms半正弦(3drops,3的每一方向）    

输出@较整点 

5VDC@满量程流量    

压差@满量程 

参照压力&气流表    

满量程输出漂移
20~-25℃
20~70℃ 

 后缀VA或VN&plu*n;7.0%读数，VC&plu*n;10.0%读数   

线性误差 

&plu*n;3.0%读数    

迟滞&重复性 

&plu*n;0.5%读数    

连接器（4preceptacle) 

AMP（103956-3）或MICROSWITCH（SS12143）    

泄漏max 

0.1psi/min,在静态中