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产品属性
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产品简介
该汽车压力传感器用力敏芯片系采用硅微机械加工技术制造,压阻原理。本系列为*对压力敏感芯片,采用各向异性腐蚀技术和硅硅直接键合技术在硅片内部形成一个长期稳定的真空基准压力参考腔,在表面硅膜上用集成技术制作成惠斯顿应变检测全桥,从而在受力时输出与压力成线性关系的电压信号。
一、产品应用领域
1、车载轮胎压力监测系统(TPMS产品);携带式胎压计、大气压力计。
2、悬挂、刹车、冷媒、进气歧管压力等汽车压力传感器。
3、空气动力学用微型*压传感器及通用*压传感器。
4、压力OEM元件制造。
二、产品特点
1、固态元件,三维集成MEMS工艺制造,*性高。
2、无应力设计与制造,严格自补偿浓度控制,稳定性好。
3、微型尺寸1mm×1mm×0.5mm,单元成本竞争力强。
4、使用方便,适合于任何陶瓷、PCD板、TO-8、塑胶微电子封装。
三、产品量程及供电
1、标准压力量程:0~100kpa、200 kpa、700 kpa、1500 kpa、3500 kpa,亦可接受非标量程订单。
2、推荐采用1mA恒流供电,亦可采用5VDC恒压供电,建议供电电流不*过3mA
四、性能指标表
性能指标 | 单 位 |
| 备注 |
标准压力量程 | kpa | 100、200、700、1500、3500 |
|
*大过载能力 | %FS | 300 |
|
输入输出阻* | kΩ | 5&plu*n;2 |
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*位输出 | mV | 0&plu*n;40 | 1 |
满量程输出 | mV | 100&plu*n;40 | 1 |
线性度 | &plu*n;%FS | ≤&plu*n;0.5 | 2 |
迟滞、重复性 | %FS | ≤&plu*n;0.1 |
|
未补偿*位温漂 | ×10-4/℃.FS | ≤&plu*n;8 | 3 |
恒流供电灵敏度温漂 | ×10-4/℃.FS | ≤&plu*n;5 | 3 |
恒压供电灵敏度温漂 | ×10-4/℃.FS | ≤-23 | 3 |
工作温度范围 | ℃ | -40~125 |
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备注:1、5VDC恒压或1mA恒流供电下测得。
2、*计量法规规定的*佳工作直线。
3、工作温区范围内任一个百度温区。
4、如无*声明,测试环境条件均为25℃、5VDC、65%RH。