D07-7K型 气体质量流量控制器

品牌:国产 产品型号:D07-7K 测量范围:5SCCM～10SLM 测量精度:&plu*n;1％F.S. 工作环境:5～45℃

D07-7K型 气体质量流量控制器 ★*价格比、普通型产品 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★7A型的更新换代型 ★管状分流，使用寿命长 ★用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精 密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制 气配气等行业。

标准:

气体质量流量用氮气(N₂)标定。标准状态规定为：

标准温度………………0℃（273.15K）

标准压强………………101325Pa

输入和输出:

输入电源………………+15V,50mA,-15V,200mA

输入设定电压…………0～+5.00V

输出电压检测…………0～+5.00V

技术性能指标

满量程流量范围（N2）		5SCCM～10SLM
控制范围		2～100％F.S.
阀类型（及阀初始状态）		电磁调节阀（常闭）
准确度		&plu*n;1％F.S.
线性		&plu*n;0.5～1％F.S.
重复精度		&plu*n;0.2％F.S.
响应时间		≤2sec
工作温度范围		5～45℃
工作压差		0.1～0.5MPa
耐压		3MPa
漏气率		1×10-8atm.cc/sec He
密封材料		氟橡胶、氯丁橡胶
电插头形式		DB15 pin(Female)
接头选择	VCR	1/4”或φ4hose、φ3hose
	Swagelok	1/4”或φ6、φ3
温度系数		Zero:≤&plu*n;0.1%F.S./℃ Span:≤&plu*n;0.2%F.S./℃
重量		1.1Kg