四探针测试仪 测试仪

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类型:四探针测试仪 品牌:恒奥德 型号:GSZ-RTS-3 测量范围:见资料(MΩ)

四探针测试仪 测试仪 型号:GSZ-RTS-3



手持式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法*标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,*于测量硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻的小型仪器。
仪器采用了*新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。如有需要可加配测试台使用。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

技 术 指 标
测量范围
电阻率:0.01~1999.9Ω.cm;
方块电阻:0.1~19999Ω/□;
恒流源
电流量程分为100μA、1mA两档,两档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式:000.00~199.99mV; 分辨力:10μV;
输入阻*:>1000MΩ; 精度:&plu*n;0.1%;
显示:以大屏幕LCD显示读数,直观清晰;*性、*量程自动显示;
四探针探头基本指标
间距:1&plu*n;0.01mm; 针间*缘电阻:≥1000MΩ; 机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或*钢Ф0.5mm; 探针压力:5~16 牛顿(总力);
四探针探头应用参数
(见探头附带的合格证)
模拟电阻测量相对误差
1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%&plu*n;1字
整机测量*大相对误差
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤&plu*n;5%
整机测量标准不确定度
≤5%
外型尺寸
185mm(长)*90mm(宽)*30mm(高)
重量
350g
电源
锂电池,一次充电可连续使用100小时;
标准使用环境
温度:23&plu*n;2℃; 相对湿度:≤65%; 无高频干扰; 无强光直射;