质量流量计

流量範圍 3Sccm~30Slpm
*大的入口壓力 150psig(Max1500psig)
操作壓力正常範圍 5~50psid
控制範圍 50~1
準確選擇(類比) &plu*n;1.0% of F.S
線性 In Accuracy
重複性 &plu*n;0.25% of F.S
反應時間 Flow signal:<0.3sec
溫度系數 &plu*n;0.1% F.S/°C(N2)
正常的工作溫度範圍 5°C to 65°C
輸入電壓 &plu*n;15VDC 350mA
類比輸入/輸出信號 0~5Vdc
連接器類型 15-pin D-sub
本體材料和封條類型 SS 316L & Viton ,Buna-N , Kalrez
漏率標準 1*10¯9 atm scc /sec He
管路接頭型式 1/4"VCR,1/4"SWG
　 1/4"VCO,3/8"SWG
流量在30L/MIN以下都可以的