高纯氩*气相色谱仪

技术规格
1、特气生产 ； 2、电子工业；3、核工业； 4、半导体工业；5、空分生产；6、气体分离；7、Ar纯度标准化；8、其他工业过程用氩的分析。高频氩放电检测器，灵敏度： H2〈40ppb，O2〈100ppb， N2〈100ppb， CH4〈50ppb， CO〈500ppb，CO2〈500ppb，可配取样阀，数据处理系统，台式或19”支架式。

应用
1、特气生产；
2、电子工业；
3、核工业；
4、半导体工业；
5、空分生产；
6、气体分离；
7、Ar纯度标准化；
8、其他工业过程用氩的分析。
备注：
1，测高纯氩气体中的*化合物和碳氢化合物的ppm值
2，高纯氩气体的纯度4个9或5个9
3，具体组分：
氮2ppm；氢5ppm；氧1ppm；总碳0.5ppm；水分0.1ppm；
*高烃5ppm；氧10ppm；氮50ppm；总碳10ppm