质量流量控制系统DGS03

质量流量控制系统DGS03主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、*和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。其典型的应用场合包括：微电子工艺设备、，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。系统默认配置为： MAC地址：32；RS485通信波特率：19200；控制方式：数字。

∮主要技术参数：

流量规格(N2)	（0~5，10，20，30，50，100，200，300，500）SCCM （0~1，2，3，5，10，20，30）SLM
准确度	±1.0% S.P . (≥35% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.)
线性	±0. 5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
工作压差范围（＜0.02MPa）	0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM 0.1~0.35Mpa 流量规格＞10SLM
温度系数	*点：≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃
耐压	3MPa
响应时间	≤2sec
漏率	1×10-10pa.m3/sec He
密封材料	氟橡胶; 氯丁橡胶
工作环境温度	(5~45) ℃

型号/规格

DGS03

品牌/商标

winsen

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