薄膜厚度测量仪
地区:北京 北京市
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无
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产品属性
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活动范围 200mm x 200mm(8"), 300mm x 300mm(12")
测量范围 100Å~ 35㎛(Depends on Film T*e)
光斑尺寸 40㎛/20㎛, 4㎛(option)
测量速度 1~2 sec./site
应用领域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Wafer Measurement & OLED
选项 Programmable Auto Z Stage
参考样品(K-MAC or KRISS or NIST)
焦点 Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附带照明 12v 100W Halogen Lamp
ST4000-DLX
K-MAC科美仪器