气体质量流量计-MFM600 首选威鑫联

技术参数：

流量规格：0~330sccm(mL/MIN)

可以测量的气体类别：Ar、N2、O2、Air、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

PIN脚定义：

PIN1：GND

PIN2：RX/A

PIN5：VCC

PIN6：DGND

PIN7：CANL

PIN8：CANH

PIN9：TX/B

气路连接：

输入端：使用外径3.2的聚四氟管套上气路接头和硅胶卡套，保证气密，如下图：

聚四氟管另一端可以直接用同样的方式接入到被测气路上，或是利用硅胶软管套接至不同管径的气路管线上，如下图：

输出端：可以什么都不接或是接一根10mm长的聚四氟管，接法同上。