质量流量控制器

技术参数：

　　流量规格：0~330sccm(mL/MIN)
　　准确度：±0.2%F.S
　　线性：±0.1%F.S
　　重复精度：±0.1%F.S
　　工作压差范围：0~0.45MPa
　　最大耐压：1MPa
　　工作环境温度：0~65℃
　　电气连接：DB9
　　输出信号：RS232、RS485、CAN、(RS485及CAN带电气隔离）
　　电源：15~40VDC
　　标准气路接头：M8*1
　　气路管径：3.2mm
　　可以测量的气体类别：Ar、N2、O2、Air、NO、CO、CH4、NH3、N2O、NO2、CO2

机械尺寸：

气路连接：

　　使用外径3.2的聚四氟管套上气路接头和硅胶卡套，保证气密，如下图：