供应光致发光影像系统--Helios
地区:北京 北京市
认证:
无
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产品属性
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Helios是全自动实时材料分级和过程控制的在线监控设备,
应用: |
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特点: 1. 线上监控或线下分析都适用 2. 采用InGaAs探头*测量灵敏度,减少检测时间 3. 采用高灵敏光学成像技术,每片晶圆测试时间<1s 4. 鉴别并*低质量材料进入高损耗工序,降* 5. 采用简单明了的图形界面和是非判定 6. 相比于其他同类PL系统更* |
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Helios
zolix