供应DIT5200电涡流位移传感器 应用于集成电路制造平台定位

DIT5200电涡流传感器应用领域

应用于磁悬浮轴承定位、精密构件平衡、集成电路制造平台定位等。

电涡流传感器主要特点

线性度:±0.1～1%；

量程：±0.25mm /±1.915mm；

频响: 0～22KHz；

埃米级分辨率；

高灵敏度，最高394mV/μm；

具有多传感器同步功能；

两个高精度电涡流传感器，接入电桥平衡电路。具有高分辨率、高灵敏度，使用于被测材料为铝、铜等导电材料；有单、双通道配置；电涡流传感器系统广泛应用于电力、石油、化工、冶金等行业和一些科研单位。对汽轮机、水轮机、鼓风机、压缩机、空分机、齿轮箱、大型冷却泵等大型旋转机械轴的径向振动、轴向位移、键相器、轴转速、胀差、偏心、以及转子动力学研究和零件尺寸检验等进行在线测量和保护。