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ZNXsensor电容位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种:变极板间距离的变极距型;改变极板面积的变面积型;还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的电容位移传感器。
ZNXsensor电容位移传感器应用领域:压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
该ZNXsensor电容位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
电容位移传感器主要特点:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性最高0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
真空兼容选项;
XY轴压电纳米定位台 新药设计与医疗技术 药物筛选快速定位 细胞跟踪
英国真尚有NM机械机构系列纳米定位台特点
NM-XY-100X是一个集成了电容传感器的微动平台。高于纳米级的分辨率与重复性对弯曲机械装置的有限分析可以在100微米的范围内降低伴生角度的移动到25微弧度以内是一个集成了电容传感器的微动平台。有高于纳米级的分辨率和重复性。特殊钢材的外壳(CTE 0.3ppm K-1, c.f. Al at 23ppm K-1)可以将温漂降低到最小,在纳米级是非常重要的。这种外壳拥有优秀的力学平衡设计。
主要特点
>100微米运动范围,高于纳米级分辨率;
振荡频率>350Hz;
0.005%磁滞、线性度;
高带宽(>50Hz)响应时间短;
现场扫描最优化;
需要与NPS-Z-15A或NPS-Z-15H组成三轴系统;
NM-XY-100A为特殊钢材外壳;NM-XY-100B为铝质外壳;
ZNXsensor
英国真尚有