光刻胶/SU-8胶

SU-8胶是一种负性、环氧树脂型、近紫外线光刻胶.它适于制*厚、高深宽比的MEMS微结构。南京百思优公司生产的SU-8胶在近紫外光范围内光吸收度低,整个光刻胶层所获得的曝光量均匀一致,可得到具有垂直侧壁和高深宽比的厚膜图形，它还具有良好的力学性能、*化学腐蚀性和热稳定性。