供应 AWM43300VH

微桥气体质量流量传感器内含一块独特的基于先进微结构技术的硅芯片。该芯片采用薄膜和绝热桥结构，内含加热器和温度传感元件。桥结构能够快速灵敏地响应流过芯片的空气或其他气体气流。中心加热元件两侧的双传感元件还能指示气流流过的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜电阻保证了从每个传感器之间始终具有一致的可互换性。

微桥气体质量流量传感器利用包裹在氮化硅薄膜中的热电阻。这些电阻呈悬浮状态，在硅片的刻蚀腔上方形成两座桥。芯片置于精确规格的气流通道，提供可重复的流量响应。通过在流量传感桥下刻蚀空腔，发热器和传感电阻能实现高效的热隔离。微桥式气体质量流量传感器的小尺寸和热隔离功能实现对气流的极速响应及高灵敏度。

惠斯通双桥控制气流测量——一个提供闭环发热器控制，另一个包含双传感元件。加热器电路通过提供与质量流量成正比的输出，最大程度地降低环境温度变化导致的输出变化。此电路可维持加热器的温度以高于环境温度 (160 °C) 恒定温差，而环境温度则由芯片上的热电阻测量得知。装置的输出与电源电压成比例，也与惠斯通电桥电路的差分电压相对应。

注意：
最大程度地降低某些应用中可能产生的灰尘污染的影响。经过设计，气流中可能存在的尘粒将平行于芯片表面流过芯片。另外，微结构芯片产生的热迁移效应能移走桥结构上的微米级尘粒。

可使用简单的过滤网，防止粉尘附着在芯片边缘和通道表面。在大多数应用中，只要在气流装置的上游侧串联一只一次性的五微米过滤网，即可获得充分的过滤效果。

精密硅微机械加工

对 0.1 sccm 至 20 SLPM 的低流量敏感

适用于较高流量

快速响应时间

模拟输出

功耗低

可重复响应

激光微调后具有可互换性

准确、经济型流量传感

单列印刷电路板端子

标准的 2.54 mm (0.100 in) 安装孔距

0.001-4.0 in. H₂O (0.003-10 mbar) 低差压准确传感

加热、通风和空调系统的风门控制

气体分析仪

低真空控制

过程控制

医用呼吸机和肺活量仪

制氧机

泄漏检测仪

通气罩

麻醉控制

气体计量

气相色谱仪