供应SIMCO离子风棒5635

地区:广东 深圳
认证:

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简 介

5635型MP离子风棒,是对应用在先端半导体制造工程等100nm以下的微小型颗料除静电器。


特点:


Ø 采用在世界上*的电*材料单晶硅的优势,避免*颗料特性的电*材料的*属污染的风险。

Ø 通过*的MP(脉冲调制)方式,可以*的发挥离子除电性能。

Ø 平衡的电位,即使是在距100mm的距离也可用使用的特性及静电杆长且离子平衡度好。

Ø 通过智能控制电路,可自动管理离子发生状态及离子平衡度。

Ø 1/4圈可以拆卸更换电*,有助于减少维护工时。

Ø 电位波动小的MP方式的特性,简化了组装。另外,电位波动小可以保持离子平衡度在管理的基准内。

Ø 设定了适合半导体前工序EFEM用的除静电棒长度。

Ø 内置24V DC驱动控制器的小巧紧湊型设计。

Ø 可用于**网络。


产 品 规 格


输入电压

24V DC + / -10%

输出电压

*大可调至约13.5kv PP

安装距离

100毫米?1000毫米(无空气净化)

离子生成方式

电晕放电法

PM(脉冲变调)方式 变动频率 1 ~ 33 Hz

 

 

离子平衡度

自动平衡调节方法
<+/-10V内离子风棒直下 根据位置的不同会有差异<+/-10v
(600 mm距離)

电*

单晶硅电*  可更换

吹气

清洁干燥的空气或氮气

*大气压力

310Kpa

臭氧产生量

<0.05PPM(24时总值)

信号输出

报警IO  电*输出

 

 尺寸

高78mm*宽34mm*t长(如下值)

450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750

/ 1900/2050/2200/2350Mm

外观

ABS树脂

型号/规格

5635

品牌/商标

simco